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반도체 제조장비 분야 / Semiconductor Equipment Div
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반도체 제조 장비는 반도체 웨이퍼를 가공하여 반도체 소자를 생산하는데 필요한 박막 공정용 장비를 의미하며 웨이퍼 처리용, 검사 및 테스트용 장비등을 포함합니다. 한빛세마텍은 전공장장비 중에 에처 (Plasma Etcher), 화학기상증착장비 (CVD, MOCVD, ALD, PECVD), 스퍼터 (Sputter) , 증발기 (E-Beam / Thermal Evaporator) , 이온빔 시스템 (IBS) , 열처리기 (RTP, Furnace) , 코팅기 및 현상기 (Coater & Developer : Track) 장비의 공급이 가능합니다.
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산업용 장비 분야 / Industrial Equipment Div
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진공과 플라즈마 기술은 현재 급속한 발전을 하고 있는 반도체, 평판디스플레이. 전자, 신소재, 금속, 유전공학, 가속기, 극한기술 등 각종 첨단 산업의 다양한 분야에 광범위하게 응용되고 있습니다. 국내에서는 현재 이러한 첨단장비들 대부분을 수입에 의존하고 있으며 당사에서는 이러한 타 산업에 파급 효과가 큰 고진공 기술을 응용한 산업용 장비를 국내에 보급하고자 최선을 다하고 있습니다. 반도체, 디스플레이 장비 시장을 제외한 산업용 진공장비를 크게 분류하면 첨단 및 나노 재료, 광학산업 분야, 화학/제약/식품 분야, 금속산업 분야, 기타 산업 분야로 분류할 수 있으며 한빛세마텍㈜에서는 다양한 산업용 장비 (다이아몬드, SiC, BN증착 장비, Roll Sputter, 대기압 플라즈마 표면 처리, 플라즈마 소각기, 광학 및 DWDM용 전자빔 장비 등 ) 의 공급이 가능합니다.
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