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com" Digital Hotplate / Coolplate HP 401-Z 디지털 가열서냉기, LCD Display, is divided into 16 zones |
The Hotplate/Coolplate
HP 401-Z is divided into 16 zones. With this arrangement an excellent
temperature profile over the entire 320x320 mm sized hotplate could be arranged.
Further the HP 401-Z can be programmed to rump up the temperature by 10℃/min
as well as cool down by 5℃/min. The maximum hotplate
temperature is 250℃.
Proximity as well as loading pins are a useful feature to manually load
different substrate sizes between 2℃to 12℃
A comfortable controller is capable to store up to 20 process programs.Allgemeine
Diese Heizplatte wurde entwickelt für
- Backen von Glas- und Silizium-Substraten mit
Durchmesser zwischen 50 und 300 mm.
- Entfernen von Spannungen aus Wafern und Substraten.
- Trocknen von Lack auf Substraten.
Wichtige Eigenschaften
- 16 Heizzonen
- Grosser Temperaturbereich 10 bis 300°C
- Substrat-Ladepins bis 15 mm hoch
- Programmierbarer Prozess mit bis zu 20 Segmenten
- Optionale N2 Flutung
Masse und Umgebungsanforderungen
Alle Angaben können ohne Mitteilung geändert
werden.
Eigenschaften
| Eigenschaft |
Nomineller Wert |
Spezifikation |
| Temperatur der Heizplatte |
10 ... 300°C |
|
| Lade pins |
Für Substrate von 50 ... 300 mm |
Rostfreier Stahl mit keramischen
Spitzen |
| Temperatur Anzeige |
25.0 ... 150.0 |
Auflösung 0.1 °C |
| Plattengrösse |
320 x 320 mm |
Material: Aluminiumlegierung |
| Zeit bis Erreichen der
eingestellten Temperatur |
5 min |
Durchschnitt |
| Substrat Hebung |
0.1 ... 15 mm |
Timer gesteuert (4 ... 5 sec) |
| Eigenschaft |
Nomineller Wert |
Spezifikation |
| Länge /
Breite / Höhe |
610 / 540 / 235
mm |
mit geschlossenem Deckel |
| Gewicht |
55 kg |
|
| Netzanschluss |
3 x 400 VAC,
50/60Hz |
|
| Leistungsbedarf |
8 kW |
|
| Druckluft |
4 bar |
einstellbar; Fitting für
Rohr Ø 6/8 mm |
| Vakuum |
technisches
Vakuum |
Fitting für Rohr Ø 4/6 mm |
| Kühlwasser |
3 l/min bei 7 °C |
Fitting für Rohr Ø 6/8 mm |
| Anschluss für
Absaugung |
20 ... 50 m3/h |
Innerer Schlauch Ø 40 mm |
| N2
Einlass (Option) |
technische Qualität |
Fitting für Rohr Ø 6/8 mm |
| CAT
No. |
Description |
단위/갯수 |
가격
|
| 가격문의 |
|
