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" : Vacuum Tweezer
F-Series,진공을
풀었을 경우 즉각적인 탈착으로 안전한
공정흐름을 유지 |
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F-Series는 크린룸
환경에서 사용 가능하도록 고청정의 테프론 Body 재질을
사용하여 내화학성은 물론 낮은 발진량을 보입니다. 다양한
종류의 Tip을 선택할 수 있으며 특수밸브를 사용하여 적정한
진공상태를 유지 Wafer의 확실한 장착을 보장하며, 진공을
풀었을 경우 즉각적인 탈착으로 안전한 공정흐름을
유지시킵니다.
- Cleanroom 환경에
적합한 소재로 Particle 및 오염물 발생 최소화
- PTFE재질의 Body로
뛰어난 내화학성
- 특수연마처리된
Tip 표면은 대상물에 대한 확실한 밀착성 유지
제품종류
Valve
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적용코드
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001
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002
|
003
|
|
사
양
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폐쇄형
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개방형
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가변형
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Connection
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적용코드
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X
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Y
|
Z
|
|
사
용
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Ball
Swivel Joint
|
Fixed
Joint
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Collet
Chuck Joint
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Tip ( mm, Thickness, X With X Length1 X Length2 )
 
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적용코드
|
사이즈
|
적용코드
|
사이즈
|
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01
|
2.5×15×26×35
|
11
|
3.2×15×25×77
|
|
02
|
2.5×13×21×30
|
12
|
1.7×20×22×60
|
|
03
|
2.5×26×31×40
|
13
|
0.9×16×21×63
|
|
04
|
3.7×40×18×25
|
14
|
2.6×31×34×86
|
|
05
|
2.5×31×34×41
|
15(3F)
|
3.4×47×55×162
|
|
06
|
2.5×10×21×30
|
15(PK)
|
3×47×55×162
|
|
09
|
3.7×26×30×35
|
15(VP)
|
3×51×61×3180
|
Tip
Material
|
적용코드
|
사이즈
|
|
3F
|
PTCFE(Polychlortrifluorethylene)
|
|
PK
|
PEEK(Polytheretherketone)
|
|
VP
|
Vaspel(Polyimide)
|
가격(Price)
| CAT
No. |
Description |
단위/갯수 |
Price[VAT포함] |
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가격문의
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)
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