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" : Vacuum Tweezer,진공을
풀었을 경우 즉각적인 탈착으로 안전한
공정흐름을 유지 |
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C-Series는 ESD가 민감한 지역에서
Wafer 취급시 사용되며 미국 및 일본에 특허 등록된
특수밸브를 사용하여 적정한 진공상태를 유지 Wafer의 확실한
장착을 보장하며, 진공을 풀었을 경우 즉각적인 탈착으로
안전한 공정흐름을 유지시킵니다.
- Clean Nylon 재질의 바디로 ESD로
인한 Wafer 손상방지
- 특수 연마처리된 Tip은 Conductive
Peek로 Particle 발생최소화
- 106~108
표면저항으로 정전기 발생 억제
제품종류
Valve
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적용코드
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001
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002
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003
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사 양
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폐쇄형
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개방형
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가변형
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Connection
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적용코드
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X
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Y
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Z
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사 양
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Ball Swivel Joint
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Fixed Joint
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Collect Chuck Joint
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Tip ( mm, Thickness, X With X Length1 X Length2 )
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적용코드
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사이즈
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적용코드
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사이즈
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90
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2.3×16×26×82
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96
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2.7×27×32×42
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91
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2.3×26×39×89
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97
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3.6×31×37×43
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92
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2.5×32×39×41
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98
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3.0×32×34×128
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95
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2.7×15×28×37
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Tip
Material
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적용코드
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사이즈
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CP
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Conductive
PEEK(Polytheretherketone)
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가격(Price)
| CAT
No. |
Description |
단위/갯수 |
Price[VAT포함] |
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가격문의
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