| 특징
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고진공,
고압, 고온, 유독 Gas등에 사용되도록 셜계된 유량계입니다.
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헬륨 leak Tester로 모든 제품에 대해서 leak Test를
하고 있기 때문에 leak에 대해서 확신을 얻을 수 있습니다.
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Bellows Needle Valve를 채용하여 축으로부터 leak
이 없습니다.
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유체 접촉 부의 재질은 SUS 316, Viton 등 내식성이
우수합니다.
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초정밀한 Tuble등으로 구성되어진 정도가 높은 재현성, 안정성
우수한 유량계.
- 진공장치,
반도체 제조 line등에 사용
규격
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유체명)
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(Gas
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Air, N2, O2, H2, He, Ar, CO2
등 (선택) (선택사양)
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(Liguid)
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Water
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유량 범위
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0.2~5 mℓ/min to 3~30
mℓ/min(Gas)
0.5~5mℓ/min
to 0.1~1 mℓ/min(Water)
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정밀도
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FS ± 2%
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내압
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Gas
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Water
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100 ℓ/min 이하 : 1.4Mpa
5 ℓ/min 이하 :
1.0Mpa
10
ℓ/min 이하 : 0.5Mpa
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5
ℓ/min 이하 : 1.4Mpa
100
ℓ/min 이하 : 1.0Mpa
300
ℓ/min 이하 : 0.5Mpa
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유효눈금
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10:1 (option 20:1, 2종류 유체 눈금)
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재질
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SUS 316(본체), Pyrex (관)
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Packing
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Viton
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사용온도
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120℃ 까지 (유체온도)
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전체크기
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120, 150, 200, 250mm (선택)
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| CAT No.유체명(Gas/Liguid) (선택사양) |
Description.
유량 범위(선택사양)
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단위/갯수 |
Price[VAT포함] |
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